ISSN: 1814-3520(print)
ISSN: 2500-1590(online)
12+
Вестник Иркутского государственного технического университета
Поиск по сайту

РЕЗУЛЬТАТЫ ТЕОРЕТИЧЕСКОГО И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОГО ОПРЕДЕЛЕНИЯ МАГНИТНЫХ ПОЛЕЙ В ПЕРЕНАСТРАИВАЕМОЙ МАГНЕТРОННОЙ РАСПЫЛИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЕ

Дьяконов Алексей Геннадьевич , Лебедев Валерий Александрович

2014 / Номер 6(89) 2014 [ Энергетика ]

Рассмотрено распределение составляющих магнитного поля в зазоре перенастраиваемых магнетронных распылительных систем (ПНМРС). Приведены теоретические кривые, построенные с использованием уравнений Максвелла, а также экспериментальные кривые, определенные на практической модели ПНМРС. Полученные зависимости индукции от координат и частоты колебаний позволяют определить оптимальные параметры и характеристики работы ПНМРС, что дает возможность более эффективно получать различные функциональные покрытия на подложках сложной геометрии.

Ключевые слова:

магнетронные распылительные системы,магнитные поля,подложки сложной геометрии,термо- и износостойкие покрытия,magnetron sputtering systems,magnetic fields,complex geometry substrates,heat and wear resistant coatings

Библиографический список:

  1. Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радиосвязь, 1982. 72 с.
  2. Дьяконов А.Г. Магнитные поля в перенастраиваемой магнетронной распылительной системе // Вестник Иркутского государственного технического университета. 2013. № 8. С. 185-190.
  3. Цилиндрическая магнетронная распылительная система. Патент РФ № 2174160 / Дьяконов А.Г., Сорокин Д.Г. Опубл. в БИ. 2001. № 27.
  4. Спиваков Д.Д., Парфененок М.А., Телегин А.П. Оборудование для нанесения покрытий реактивным магнетронным распылением в режиме двойного незатухающего разряда // Вакуумная техника и технология. 2002. Т. 12. № 3. С. 145-149.

Файлы:

Язык

Лицензия Creative Commons
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная
Количество скачиваний:1479