ISSN: 1814-3520(print)
ISSN: 2500-1590(online)
12+
Вестник Иркутского государственного технического университета
Поиск по сайту

ДИНАМИЧЕСКОЕ регулирование магнитного поля в перенастраиваемой магнетронной распылительной системе

Дьяконов Алексей Геннадьевич , Фаттахов Рамиль Касымович , Лебедев Валерий Александрович

11.pdf

Скачать файл

Язык

Лицензия Creative Commons
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная
Количество скачиваний:1691