Влияние режима выращивания на макроструктуру слитка мультикристаллического кремния

Непомнящих А.И. , Пресняков Р.В. , Антонов П.В. , Бердников В.С.

2012 / Номер 1 [ Органический и неорганический синтез ]

Для численно воспроизведенных условий выращивания мультикристаллического кремния направленной кристаллизацией, включающих равномерное вращение системы тигель-расплав-кристалл в тепловом поле нагревателя, приведен анализ возможности полученного в эксперименте монокристаллического роста на плоском дне. С точки зрения особенностей тепломассопереноса в системе приводится анализ влияния скорости перемещения тигля через температурный градиент в интервале от 0,5 см/ч до 1,5 см/ч, на захват примесей за счет концентрационного переохлаждения. Показано, что задание скорости опускания тигля сверх оптимального значения обеспечивает захват примесей на промежуточной стадии роста. Масштаб захвата зависит от значения скорости перемещения и внешней конфигурации теплового поля. Добавление в модель процесса равномерного вращения тигля ведет к дополнительному возрастанию кинетического переохлаждения в центральной части растущего кристалла и позволяет объяснить более ранний захват примесей в получаемых образцах.

Ключевые слова:

мультикристаллический кремний, концентрационное переохлаждение, термогравитационная и гравитационно-центробежная конвекция, численное моделирование, метод конечных элементов.

Файлы:

• Реферат (скачать | просмотреть) - скачано 11 раз
• Статья (скачать | просмотреть) - скачано 17 раз