Монокристаллический рост кремния на плоском дне тигля

Непомнящих А.И. , Пресняков Р.В. , Антонов П.В. , Бердников В.С.

2015 / Номер 1 [ Химия и технология природного и техногенного сырья ]

Предметом данного исследования является процесс выращивания мультикристаллического крем- ния, который осуществляют вертикальным методом Бриджмена без использования затравочного кристалла в плоскодонном тигле. В этом процессе состояние расплава, предшествующее началу кристаллизации, представляет существенный интерес. В настоящей работе приведено новое экспериментальное доказательство возможности влияния условий выращивания на результат геометрического отбора зародышей на плоском дне тигля. Авторы впервые получили монокри- сталлический рост кремния без использования активного теплообмена и затравочного кристал- ла на плоском дне. Численное моделирование гидродинамики и сопряжённого теплообмена для за- данных условий направленной кристаллизации, показывает существенное подавление свободной конвекции.

Ключевые слова:

метод Бриджмена; зародышеобразование; конвекция; численное моделирование.

Файлы:

• Реферат (скачать | просмотреть) - скачано 10 раз
• Статья (скачать | просмотреть) - скачано 41 раз