РЕЗУЛЬТАТЫ ТЕОРЕТИЧЕСКОГО И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОГО ОПРЕДЕЛЕНИЯ МАГНИТНЫХ ПОЛЕЙ В ПЕРЕНАСТРАИВАЕМОЙ МАГНЕТРОННОЙ РАСПЫЛИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЕ

Дьяконов Алексей Геннадьевич , Лебедев Валерий Александрович

2014 / Номер 6(89) 2014 [ Энергетика ]

Рассмотрено распределение составляющих магнитного поля в зазоре перенастраиваемых магнетронных распылительных систем (ПНМРС). Приведены теоретические кривые, построенные с использованием уравнений Максвелла, а также экспериментальные кривые, определенные на практической модели ПНМРС. Полученные зависимости индукции от координат и частоты колебаний позволяют определить оптимальные параметры и характеристики работы ПНМРС, что дает возможность более эффективно получать различные функциональные покрытия на подложках сложной геометрии.

Ключевые слова:

магнетронные распылительные системы,магнитные поля,подложки сложной геометрии,термо- и износостойкие покрытия,magnetron sputtering systems,magnetic fields,complex geometry substrates,heat and wear resistant coatings

Библиографический список:

1. Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радиосвязь, 1982. 72 с.
2. Дьяконов А.Г. Магнитные поля в перенастраиваемой магнетронной распылительной системе // Вестник Иркутского государственного технического университета. 2013. № 8. С. 185-190.
3. Цилиндрическая магнетронная распылительная система. Патент РФ № 2174160 / Дьяконов А.Г., Сорокин Д.Г. Опубл. в БИ. 2001. № 27.
4. Спиваков Д.Д., Парфененок М.А., Телегин А.П. Оборудование для нанесения покрытий реактивным магнетронным распылением в режиме двойного незатухающего разряда // Вакуумная техника и технология. 2002. Т. 12. № 3. С. 145-149.

Файлы:

• 31.pdf (скачать | просмотреть) - скачано 25 раз