НАНОМЕТРОЛОГИЯ В ТЕХНИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЯХ - ОСНОВА ДАЛЬНЕЙШЕГО РАЗВИТИЯ НАУКИ

Афанасьев Александр Александрович , Ивлева Ксения Станиславовна , Прохоренков Дмитрий Станиславович

2015 / Номер 3(98) 2015 [ МЕХАНИКА И МАШИНОСТРОЕНИЕ ]

Научно-технический прогресс достиг сегодня такого уровня, что используемая при исследованиях аппаратура должна быть совершенной и сверхточной, а для изготовления ее деталей требуются измерительные приборы эталонной точности. Достижение предельных возможностей в нанометрии связано с использованием высокоразрешающих методов сканирующей зондовой микроскопии: растровой оптической, растровой электронной, сканирующей туннельной и атомно-силовой в сочетании с лазерной интерферометрией и фазометрией. На основе сканирующего зондового электронного микроскопа MIRA-3 LM проведены исследования микростуктур стали 65Г, результаты которых позволяют сделать научные выводы с большей эффективностью, чем прежде.

Ключевые слова:

нанометрология,микроструктуры сплавов,нанотехнологии,электронное сканирование,нанометрия,электронная микроскопия,nanometrology,alloy microstructure,nanotechnologies,electronic scanning,nano measurement,electron microscopy

Библиографический список:

1. ОАО «НИИизмерения» // Нанометрология. 2014 [Электронный ресурс]. URL: http://www.micron.ru/innovation/nano (25.12.2014).
2. Тодуа П.А. Метрология в нанотехнологии // Российские нанотехнологии. 2007. Т. 2. № 1-2. С. 61-69.
3. ИСO 3650-98. Геометрические характеристики изделий (GPS). Эталоны длин. Эталонные блоки. М.: НТС, 1998. 28 с.
4. ГОСТ 28798-90. Головки измерительные пружинные. Общие технические условия. М.: Стандартинформ, 2005. 7 с.
5. Друк Н.Р. Информационные технологии построения моделей отбора данных в лазерных измерительных системах вибрации поверхностей // Вестник БГТУ. 2013. № 3. С. 68-71.
6. Исследование метрологических характеристик измерительного сканирующего зондового микроскопа с применением калибровочных решеток типа TGZ / К.В. Гоголинский, К.Л. Губский, А.П. Кузнецов [и др.] // Измерительная техника. 2012. № 4. C. 18-21.
7. Солнцев Ю.П., Пряхин Е.И. Материаловедение: учебник для вузов. СПб.: Химиздат, 2007. 784 с.

Файлы:

• 5.pdf (скачать | просмотреть) - скачано 26 раз