ХИМИЧЕСКИЙ СОСТАВ МУЛЬТИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ, ПОЛУЧЕННОГО ИЗ МЕТАЛЛУРГИЧЕСКОГО МАТЕРИАЛА

Немчинова Нина Владимировна

2015 / Номер 10(105) 2015 [ Металлургия и материаловедение ]

Проведено математическое моделирование распределения элементов-примесей в карботермическом процессе при выплавке металлургического кремния в электродуговых печах на основе метода многорезервуарной динамики. Рентгеноспектральные исследования образцов мультикристаллического кремния, полученного из металлургического сырья, установили типы химической связи элементов во включениях. Показано, что снижение концентрации вредных примесей в изучаемых образцах возможно путем подбора оптимальных режимов роста кристаллов при направленной кристаллизации.

Ключевые слова:

металлургический кремний,математическое моделирование,мультикристаллический кремний,направленная кристаллизация,рентгеноспектральный микроанализ,оже-спектроскопия,рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия,metallurgical silicon,mathematical modeling,multicrystalline silicon,directional crystallization,electron probe microanalysis,Auger spectroscopy,X-ray photoelectron spectroscopy

Библиографический список:

1. Фалькевич Э.С. Технология полупроводникового кремния. М.: Металлургия, 1992.
2. Клёц В.Э., Немчинова Н.В., Черняховский Л.В. Карботермический способ получения кремния высокой чистоты // Цветные металлы. 2001. № 1. С. 84-87.
3. Мюллер Г. Выращивание кристаллов из расплава. М.: Мир, 1991. 149 с.
4. Пфанн В.Г. Зонная плавка. М.: Мир, 1970. 132 с.
5. Рейви К. Дефекты и примеси в полупроводниковом кремнии. М.: Мир, 1984. 475 с.
6. Попов С.И. Металлургия кремния в трехфазных руднотермических печах. Иркутск: ЗАО «Кремний», 2004. 237 с.
7. Reed S.J.B. Electron Microprobe Analysis. Cambridge London. New York. Melbourne.: Cambridge University Press, 1975. 306 p.
8. Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии / под ред. Д. Бриггса, М.П. Сиха. М.: Мир, 1987. 162 с.
9. Карпов И.К. Физико-химическое моделирование на ЭВМ в геохимии. Новосибирск: Наука, 1981. 247 с.
10. Немчинова Н.В., Бельский С.С., Аксёнов А.В., Васильев А.А. Использование метода минимизации свободной энергии для изучения металлургических процессов // Вестник ИрГТУ. 2014. № 3. С. 151-158.
11. Немчинова Н.В., Бычинский В.А., Бельский С.С., Клёц В.Э. Базовая физико-химическая модель карботермической плавки кремния // Известия вузов. Цветная металлургия. 2008. № 4. С. 56-63.
12. Немчинова Н.В. Изучение методами физико-химического моделирования влияния химического состава сырья на извлечение кремния при руднотермической плавке // Технология металлов. 2010. № 9. С. 33-38.
13. Немчинова Н.В., Клёц В.Э. Кремний: свойства, получение, применение: учеб. пособие. Иркутск: Изд-во ИрГТУ, 2008. 272 с.
14. Непомнящих А.И., Красин Б.А., Немчинова Н.В. [и др.]: сб. мат-лов III Рос. совещ. по росту кристаллов и пленок и исследование их физических свойств и структурного совершенства. Красноярск, 2006. С. 38.
15. Немчинова Н.В. Поведение примесных элементов при производстве и рафинировании кремния: монография. М.: Академия естествознания, 2008. 237 с.

Файлы:

• Страницы_из_vest_10_(105)-izdat-15.pdf (скачать | просмотреть) - скачано 59 раз