ВЛИЯНИЕ КОНЦЕНТРАЦИИ КИСЛОРОДА НА МИКРОСТРУКТУРУ, МОРФОЛОГИЮ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК ОКСИДА ЦИНКА, ФОРМИРУЕМЫХ МЕТОДОМ ДУАЛЬНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
Зайцев Сергей Викторович , Ващилин Владимир Сергеевич , Колесник Валерий Владимирович , Лимаренко Михаил Витальевич , Прохоренков Дмитрий Станиславович , Евтушенко Евгений Иванович