Поиск по сайту

РЕГУЛИРОВАНИЕ МАГНИТНОГО ПОЛЯ В ПЕРЕНАСТРАИВАЕМОЙ МАГНЕТРОННОЙ РАСПЫЛИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЕ С МИШЕНЬЮ КОНЕЧНЫХ РАЗМЕРОВ

Дьяконов Алексей Геннадьевич , Фаттахов Рамиль Касымович

2018 / Том 22 №1 (132) 2018 [ Энергетика ]

ЦЕЛЬ. Расширение функциональных возможностей технологии магнетронного напыления материалов при обработке подложек сложной геометрии. МЕТОДЫ. Характер распределения составляющих магнитного поля определяется в перенастраиваемой магнетронной распылительной системе (ПНМРС), имеющей мишень конечной ширины, путем решения уравнения Лапласа. РЕЗУЛЬТАТЫ. Приведены теоретические зависимости составляющих магнитного поля в ПНМРС в зависимости от параметров ПНМРС и скорости перемещения катода-мишени. ЗАКЛЮЧЕНИЕ. Показана перспективность данного метода расчета магнитных полей в зазоре ПНМРС при напылении (обработке) протяженных подложек сложной геометрии (например, лопаток газотурбинного двигателя) при использовании вакуумной ионно-плазменной обработки.

Ключевые слова:

магнетронные распылительные системы, магнитные поля, подложки сложной геометрии, термо- и износостойкие покрытия

Библиографический список:

Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радиосвязь, 1982. 72 с.
Дьяконов А.Г. Магнитные поля в перенастраиваемой магнетронной распылительной системе // Вестник ИрГТУ. 2013. № 8 (79). С. 185–190.
Дьяконов А.Г., Лебедев В.А. Результаты теоретического и экспериментального определения магнитных полей в перенастраиваемой магнетронной распылительной системе // Вестник ИрГТУ. 2014. № 6 (89). С. 166–171.
Дьяконов А.Г., Фаттахов Р.К., Лебедев В.А. Динамическое регулирование магнитного поля в перенастраиваемой магнетронной распылительной системе // Вестник ИрГТУ, 2016. № 5 (112). С. 105–119.
Вольдек А.И. Индукционные магнитогидродинамические машины с жидкометаллическим рабочим телом. Л.: Энергия, 1970. 272 с.
Охременко Н.М. Основы теории и проектирования линейных индукционных насосов для жидких металлов. М.: Атомиздат, 1968. 396 с.

Файлы: